在VMS3020影像儀中，zui主要的有以下三種照明方式：表面光照明、輪廓光照明和同軸光照明。表面光與輪廓光照明方式較為普通，而同軸光照明對于某些特殊工件的測量有著至關重要的作用。VMS3020影像儀除了表面光和輪廓光之外，加入了同軸光照明，可專門用于測量工件的孔深及盲孔深度，并且對測量反光和鏡面工件，有非常*的作用，對抓取基元的準確性有很強的輔助作用。
VMS3020影像儀表面光照明：
表面光照明一般采用環(huán)狀或點狀照明，與相機處于同側(cè)。環(huán)行燈是一種常用的表面光照明方式，很容易安裝在鏡頭上，可給漫反射表面提供足夠的照明。表面光照明使用的是表面光源。表面光源提供工件表面的普通照明，目前的應用趨勢是使用環(huán)形的表面光源提供多個方向和入射角的表面照明。
怡信公司的影像測量儀提供了5環(huán)8區(qū)的表面光照明總共40個獨立的分區(qū)可控，每個分區(qū)可以獨立控制開關以及亮度亮度等級高達200級。并且每一個環(huán)的入射角度不同確保對于不同工件可以提供不同的照明方式。
VMS3020影像儀輪廓光照明：
輪廓光照明是將光源放置在物體的背面。這種照明方式與別的照明方式有很大不同，因為圖像分析的不是反射光而是入射光。輪廓光照明產(chǎn)生了很強的對比度。應用輪廓光照明技術時，物體表面特征會丟失，但可以清晰地得到物體的輪廓信息。為輪廓光照明的光源稱為輪廓光源。輪廓光源讓透光和不透光的部分區(qū)分開來，透光的地方呈白色，不透光的地方呈黑色，這樣取得一個黑白對比的圖片。輪廓光很重要的一點就是需要保證射出的光為平行光，以保證不同強度的光照不會引起工件輪廓的變化，進而影響測量的精度。
VMS3020影像儀同軸光照明：
同軸光照明是與相機的軸向相同的方向的光照射到物體的表面。同軸光照明使用一種特殊的半反射鏡面，將光線反射到相機的透鏡軸方向。半反射鏡面只讓從物體表面反射并垂直于透鏡的光線通過。同軸光源提供的這種照明技術對于實現(xiàn)扁平物體且有鏡面特征的表面的均勻照明很有用。此外，此技術還可以實現(xiàn)使表面角度變化部分高亮，因為不垂直于相機鏡頭的表面反射光不會進入鏡頭，從而造成表面較暗。